D07-7CM氣體質(zhì)量流量計,氮?dú)鈿錃赓|(zhì)量流量控制器
流量量程：5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
產(chǎn)品精度：±1.5％F.S.
響應(yīng)時間：≤10sec

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產(chǎn)品詳情

D07-7CM氣體質(zhì)量流量計,氮?dú)鈿錃赓|(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量計適用于對氣體質(zhì)量進(jìn)行精密測量。它將測量的氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體體積流量或標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體質(zhì)量流量。

氣體質(zhì)量流量計具有低功耗、精度高、壽命長、重復(fù)性好、流量量程寬、穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)。用測試氣體質(zhì)量的方法對氣體進(jìn)行流量測量，目前在國內(nèi)處于地位。

D07-7CM氣體質(zhì)量流量計,氮?dú)鈿錃赓|(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號	D07-7CM
產(chǎn)品類型	普通型
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
產(chǎn)品精度	±1.5％F.S.
重復(fù)精度	±0.2% FS
線性	±1％F.S.
響應(yīng)時間	≤10sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
耐壓	3MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
輸入輸出信號	(0~5)VDC
電源	±15V
閥類型	無閥
溫度系數(shù)	- 無 -
零點(diǎn)飄移指標(biāo)	- 無 -
電氣連接	D sub 15 pins Female
工作壓差范圍	＜0.01 MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭
表面化學(xué)成分	- 無 -
表面粗糙度	- 無 -
抗電磁干擾	CE
重量	0.92 Kg